Как мы знаем, ZYGO продолжает поддерживать лидирующую роль в метрологии поверхностной формы с использованием Лазерного интерферометрии. Это основное измерение радиуса кривизны, поверхности бахромы и передачи сигнала искажения спереди. Между тем, это может повысить точность и повторяемость процесса инспекции. В основном для плоской поверхности, сферы, цилиндра и так далее.
Обеспечение высокой точности поверхности, прибыл λ/20
Основное измерение фокусного расстояния и концентрации. Автоматическое измерение, высокая эффективность измерения; Высокая точность, мощная функция, широкий диапазон измерений.
Эффективное фокусное расстояние измерения
Измерение центра: Призма угол мастер, любой два угла
Допуск <1 ~ 2”
Диапазон измерения (мм) | ± 5 ~ ± 450 | -450 ~ + 450 |
Точность измерения | 0.03% ~ 0.3% | 0.2μm |
Может эффективно измерять размеры, углы и положения различных заготовок. Геометрические параметры резака, измерительного инструмента и измерительного инструмента.
Призма угол мастер, любые два угла допуска <1 ~ 2"
Путешествия (мм) X x Y x Z | 250x150x200 |
Дискретность | 0.5μm |
Точность измерения | X, Y точность: (3 л/200) мкм |
Точность повторяемости | 2μm |
Оптическое увеличение | 0.7X-4.5X |
Увеличение изображения | 28X-180X |
1. Классическая оптическая структура Czerny-Turner, простая, высокая точность и хорошее спектральное разрешение
2. Конструкция двойной решетки и двойного приемника гарантирует, что рабочий диапазон инструмента может покрыть весь спектр ультрафиолетового излучения видимого и ближнего инфракрасного диапазона (uv-vis-nir).
Измерение диапазон длин волн | 190-2800nm |
Метод сканирования | Коэффициент пропускания, поглощение, отражательная способность, энергия |
Длина волны лазераТочность | ± 0,5 нм (UV/VIS);± 8 нм (NIR) |
Базовый это действительно плоский экран | ± 0.008A(200-2500nm) |
Спектральная ширина полосы частот | 0.2nm-10nm |
TENSOR 27-это новое поколение инфракрасного спектрометра, разработанного брукером. Онлайн-система мониторинга и диагностики в режиме реального времени является надежной гарантией превосходной производительности.
Разрешение | 0,5 см-1 |
Wavenumber точность | Лучшая 0,01 см-1@ 2000 см-1 |
Поглощения точность | Лучше 0.01% |
Спектра | 1,33-20um |